Ακρίβεια που επεξεργάζεται την υπηρεσία στη μηχανή

Όταν η ακρίβεια κατεργασίας είναι νανόμετρο ή ακόμα και ατομική μονάδα (η ατομική απόσταση δικτυωτού πλέγματος είναι 0.1-0.2 νανόμετρο), η τέμνουσα μέθοδος δεν μπορεί να προσαρμοστεί σε την. Χρειάζεται τη βοήθεια της ειδικής μεθόδου κατεργασίας, δηλ., η εφαρμογή της χημικής ενέργειας, της ηλεκτροχημικής ενέργειας, της θερμικής ενέργειας ή της ηλεκτρικής ενέργειας, για να κάνει αυτές τις ενέργειες να υπερβούν την ενέργεια συνδέσεων μεταξύ των ατόμων, ώστε να αφαιρεθούν μέρος της προσκόλλησης μεταξύ των ατόμων στην επιφάνεια κομματιών προς κατεργασία προκειμένου να επιτευχθεί ο στόχος της υπερβολικής ακρίβειας επεξεργαμένος στη μηχανή, ο συνδυασμός ή η παραμόρφωση δικτυωτού πλέγματος. Αυτό το είδος επεξεργασίας περιλαμβάνει τη μηχανική χημική στίλβωση, την ιονική επιμετάλλωση και την ιονική εμφύτευση, την έκθεση δεσμών ηλεκτρονίων, την επεξεργασία ακτίνων λέιζερ, την εξάτμιση μετάλλων και τη μοριακή επιταξία ακτίνων. Το χαρακτηριστικό αυτών των μεθόδων είναι ότι το ποσό υλικού που αφαιρείται ή που προστίθεται στο στρώμα επιφάνειας μπορεί να ελεγχθεί πολύ λεπτά. Εντούτοις, για να λάβει την υπερβολική ακρίβεια που επεξεργάζεται την ακρίβεια στη μηχανή, εξαρτάται ακόμα από την ακρίβεια επεξεργαμένος τον εξοπλισμό και το ακριβές σύστημα ελέγχου, και χρησιμοποιεί την υπερβολική μάσκα ακρίβειας ως μεσάζοντα. Παραδείγματος χάριν, στο πιάτο VLSI που κάνει, η δέσμη ηλεκτρονίων χρησιμοποιείται για να εκθέσει photoresist (δείτε τη λιθογραφία) στη μάσκα για να κάνει τα άτομα photoresist να πολυμερίσουν (ή να αποσυνθέσουν) άμεσα κάτω από τον αντίκτυπο ηλεκτρονίων, και έπειτα πολυμερισμένο ή τα μέρη διαλύεται από τον υπεύθυνο για την ανάπτυξη για να κάνει τη μάσκα. Η παραγωγή πιάτων έκθεσης δεσμών ηλεκτρονίων απαιτεί την ακρίβεια προσδιορισμού θέσης worktable μέχρι 100% ± ακρίβεια 0,01 μικρών εξαιρετικά επεξεργαμένος τον εξοπλισμό στη μηχανή.